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作者:小编2024-12-26 17:39:37

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  专利摘要显示,本实用新型公开了一种单晶炉的加热器,包括主加热器、副加热器和底加热器,副加热器位于主加热器的下方,副加热器和主加热器位于坩埚的侧面,主加热器、副加热器和底加热器分别与不同电源电极连接,本实用新型在熔料阶段,主加热器、副加热器在坩埚侧面对其进行加热,底加热器在坩埚下部对其进行加热,通过增加副加热器的功率,大大提升了熔料功率的上限有效提高了熔料温度提升熔料效率本发明通过副加热器分担主加热器的功率后,有效降低坩埚表面的温度,有效降低释放的氧含量,从而使进入晶棒的氧含量减少,大大提升了晶棒的品质。