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X-射线荧光是由于原子内层轨道电子受到高能X-射线激发而产生的一种现象。当X射线激发原子的内层电子,使电子从内层逸出并在内层电子轨道产生空穴,这时原子会自于不稳定的高能状态。外层轨道的电子会向内层的空穴迁移,迁移过程中会释放出能量,即产生X-射线荧光现象。所产生的X-荧光的能量,与原子结构有关,对于特定的元素原子,采用特定能量的X-射线激发,会产生特征的X-荧光。对于硫原子,其K层电子被激发而逸出,其L 层电子迁移到K 层,这个特定的X-射线荧光的能量主要是S-Kα线keV,少量的是S-Kβ线keV。